Explorer4 異物自動解析SEM

異物・コンタミの検出から、サイズ計測、元素解析、分類、レポート作成までを完全自動で行います。

Explorer4 異物自動解析SEMは、自動車部品等の高度な清浄度が要求されるクリティカル部品に含まれる異物・不純物である異物・コンタミの検出、寸法計測、カウント、元素解析から、分類までを完全自動で行なうコンタミ自動分析装置です。電子顕微鏡に統合された最先端の自動解析アルゴリズムとデータマイニング技術により、サブミクロンサイズの異物までを完全自動で解析します。

[自動解析の特徴]
・ 作業者の技量に左右されない解析結果
・ 数千個の異物、不純物を短時間で自動解析
・ 異物、コンタミの種類毎に分類及び自動レポート

・ 種類毎にサイズ毎の個数分布をレポート化

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• 主な使用用途
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主な使用用途

• 不具合の原因究明
• 製造ラインの異物発生原を特定
• 製品の清浄度管理
• 清浄度の規格作成

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• 製品カタログ
• 製品仕様
• 解析レポート
• コラム

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